Καθαρισμός & Επιφάνεια ΑκριβείαςΘεραπεία
Ειδικευόμαστε στην παροχή επαγγελματικών λύσεων καθαρισμού και επεξεργασίας επιφανειών για προηγμένες τεχνολογίες διεργασιών. Ενσωματώνοντας πόρους από στρατηγικούς συνεργάτες στον κλάδο, συνεργαζόμαστε για να παρέχουμε ολοκληρωμένη υποστήριξη υπηρεσιών στους πελάτες μας. Οι συνεργάτες μας διαθέτουν πάνω από 20 χρόνια πρακτικής εμπειρίας στον τομέα των ημιαγωγών, με ομάδες εξοπλισμένες με τεχνική τεχνογνωσία που καλύπτουν έως και τον κόμβο των 14nm. Είναι σε θέση να παρέχουν αξιόπιστα υπηρεσίες καθαρισμού και επιφανειακής επεξεργασίας για γκοφρέτες 8 ιντσών και 12 ιντσών, που περιλαμβάνουν διαδικασίες όπως Φυσική Εναπόθεση ατμού (PVD), Χημική Εναπόθεση ατμού (CVD), Χάραξη και Εμφύτευση ιόντων.
Λειτουργώντας ως γέφυρα υπηρεσιών, αξιοποιούμε τα ώριμα συστήματα διαχείρισης ποιότητας και τις δυνατότητες εξυπηρέτησης των συνεργατών μας για να βοηθήσουμε τους πελάτες ολοκληρωμένων κυκλωμάτων και ευρείας κατασκευής ημιαγωγών να αντιμετωπίσουν αυστηρούς ποιοτικούς ελέγχους και προκλήσεις διαδικασίας, παρέχοντας αποτελεσματική και σταθερή υποστήριξη υπηρεσιών.
Μελέτες περιπτώσεων καθαρισμού ακριβείας
Η δοκιμή δειγμάτων μετά από πλύση ακριβείας, το επίπεδο σωματιδίων και το επίπεδο υπολειμμάτων μεταλλικών ιόντων στην επιφάνεια πρέπει να πληρούν τις απαιτήσεις της τρέχουσας διαδικασίας 28 nm.
-
Προτού -
Μετά
-
Προτού -
Μετά
-
Προτού -
Μετά
-
Προτού -
Μετά
Διαδικασία Καθαρισμού & Επισκευής Ακριβείας
-
Εισερχόμενη Επιθεώρηση
Εισερχόμενη Επιθεώρηση
Ελέγξτε την εμφάνιση, τις προδιαγραφές και τις ζημιές.
-
Συγκάλυψη
Συγκάλυψη
Προστατέψτε τις περιοχές που δεν-επεξεργάζονται από τη διάβρωση.
-
Χημική απογύμνωση
Χημική απογύμνωση
Αφαιρέστε με ακρίβεια τις παλιές επικαλύψεις.
-
Ξέπλυμα/Μούλιασμα
Ξέπλυμα/Μούλιασμα
Εξαλείψτε τα χημικά υπολείμματα με καθαρό νερό.
-
Συγκάλυψη
Συγκάλυψη
Προστατέψτε τις περιοχές από αμμοβολή.
-
Αμμοβολή
Αμμοβολή
Προσαρμόστε τις παραμέτρους για να επιτύχετε την τραχύτητα του στόχου.
-
Διαστασιολόγηση & Επιθεώρηση
Διαστασιολόγηση & Επιθεώρηση
Μετρήστε και διορθώστε τις διαστάσεις για να πληρούν τις προδιαγραφές.
-
Θερμοψεκασμός
Θερμοψεκασμός
Εφαρμόστε επιστρώσεις ανθεκτικές στη φθορά μέσω Arc ή Plasma.
-
Υψηλή-Πλύση με πίεση
Υψηλή-Πλύση με πίεση
Αφαιρέστε μεγάλα σωματίδια επιφάνειας.
-
Καθαρισμός με υπερήχους
Καθαρισμός με υπερήχους
Εκτελέστε καθαρισμό ακριβείας για να αφαιρέσετε τα λεπτά σωματίδια.
-
Cleanroom Drying
Cleanroom Drying
Στεγνώστε καλά τα εξαρτήματα σε φούρνο καθαρού χώρου Class 100.
-
Τελική Επιθεώρηση
Τελική Επιθεώρηση
Πραγματοποιήστε ολοκληρωμένους ελέγχους για να διασφαλίσετε τη συμμόρφωση.
-
Συσκευασία
Συσκευασία
Εξαρτήματα συσκευασίας κενού ανά απαιτήσεις πελάτη.
-
Έλεγχος αποστολής
Έλεγχος αποστολής
Επαληθεύστε την ποσότητα και την ακεραιότητα της συσκευασίας.
-
Τελική Παράδοση
Τελική Παράδοση
Δημιουργήστε αναφορές και παραδώστε.
Δυνατότητα εξυπηρέτησης
► 5000m2(55000 τετραγωνικά πόδια) καθαρός χώρος εργαστηρίου.
► Δυνατότητα θεραπείας άνω των 5.0000 τεμαχίων/μήνα.
► 365 ημέρες συνεχούς και αποτελεσματικής εξυπηρέτησης.
► Διαφορετικά προϊόντα, διαφορετικές διαδικασίες.
►8 κορυφαίες γραμμές επεξεργασίας συμπεριλαμβανομένων τεχνολογιών:
- Χημικός καθαρισμός/απογύμνωση, Φυσική απογύμνωση
- ARC-spray, Plasma spray, Coating, Texturing, ηλεκτρική σκούπα και συσκευασία, γενική επισκευή κ.λπ.
Τεχνική ικανότητα
► Διαδικασία: προηγμένη διαδικασία 14 nm
► Πεδίο εξυπηρέτησης: 4 ίντσες, 6 ίντσες, 12 ίντσες εξαρτημάτων ημιαγωγών
► Διαδικασία σέρβις: PVD/CVD/ETCH/IMPLANT/LITHO
► Αυστηρός ποιοτικός έλεγχος: Τεχνολογία καθαρισμού υψηλών-προτύπων ακριβείας